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設(shè)備原理：利用超聲波傳播的能量及振動，是塵粒克服基板表面的粘附力，產(chǎn)生分離，除塵的兩個真空吸附腔將分離的塵粒吸走，從而達(dá)到清洗材料表面清洗效果。

應(yīng)用場景：通過14-20Kpa潔凈氣體驅(qū)動超聲波高頻振動，以拉伸、滾動、滑動復(fù)合運(yùn)動剝離材料表面塵粒，無化學(xué)污染，適配精密電子、光學(xué)元件等敏感材質(zhì)清潔。